西安博尔新材料有限责任公司邓丽荣获国家专利权
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龙图腾网获悉西安博尔新材料有限责任公司申请的专利一种半导体用碳化硅超细粉体纯化工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119929804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510421476.0,技术领域涉及:C01B32/977;该发明授权一种半导体用碳化硅超细粉体纯化工艺是由邓丽荣;华小虎;王嘉博设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用碳化硅超细粉体纯化工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种半导体用碳化硅超细粉体纯化工艺,属于半导体材料技术领域,包括如下步骤:在流动的氩气中对处理后的木材进行碳化形成碳模板;将四乙氧基硅烷、乙醇水溶液和草酸加热搅拌后,将碳模板浸渗其中后,在氩气保护下煅烧,真空热处理后,球磨制得碳化硅粉体;将碳化硅粉体加入水中混合搅拌后,加入聚乙烯亚胺和食用脂肪酸基油搅拌,分离,干燥后,置入NaOH溶液中,在50~80℃下反应后,洗涤,烘干后,暴露在氢氟酸‑盐酸‑硝酸混合物的蒸汽中进行反应,洗涤,烘干制得碳化硅超细粉体。本发明能够降低碳化硅生产成本的同时提高碳化硅的纯度。
本发明授权一种半导体用碳化硅超细粉体纯化工艺在权利要求书中公布了:1.一种半导体用碳化硅超细粉体纯化工艺,其特征在于,包括如下步骤: S1、在流动的氩气中对处理后的木材进行碳化形成碳模板; S2、在60℃下,将四乙氧基硅烷、乙醇水溶液和草酸混合搅拌后,将碳模板浸渗其中后,在氩气保护下于1000℃进行煅烧1~4h,最终在真空条件下以1600℃热处理60min后,放入球磨机中,球磨2~8h制得碳化硅粉体; S3、将碳化硅粉体加入水中混合搅拌后,加入聚乙烯亚胺搅拌30min,加入硝酸调节pH至4~5,加入食用脂肪酸基油和羟丙基-β-环糊精搅拌30~60min,分离,干燥后,置入质量浓度为15%~35%的NaOH溶液中,在50~80℃下反应1~3h,用去离子水洗涤2~3次,在105℃干燥箱中烘干30~60min后,暴露在氢氟酸-盐酸-硝酸混合物的蒸汽中进行反应40~70min,用去离子水洗涤2~3次后,在105℃干燥箱中烘干30~60min制得碳化硅超细粉体。
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