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龙图腾网获悉奥芯半导体科技(太仓)有限公司申请的专利玻璃基板表面洁净度测试设备及测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119880927B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510090272.3，技术领域涉及：G01N21/94；该发明授权玻璃基板表面洁净度测试设备及测试方法是由刘正爱;洪志王;程传垒设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本玻璃基板表面洁净度测试设备及测试方法在说明书摘要公布了：本发明属于检测技术领域，尤其涉及玻璃基板表面洁净度测试设备及测试方法；本发明提供了一种玻璃基板表面洁净度测试设备，包括：检测工位，其设置在检测平台上，且每个检测工位内均设置有一支撑工装；搬运装置，其设置在检测平台侧壁；检测装置，其滑动设置在检测平台上方；其中，搬运装置吸附玻璃基板移动至检测工位上方后，将玻璃基板倾斜放置在检测工位；玻璃基板一端与支撑工装抵接，所述支撑工装适于限位玻璃基板以防止玻璃基板晃动；检测装置向玻璃基板发送平行光束，光束穿过倾斜状的玻璃基板后发生折射，以放大玻璃基板表面污渍的灰度投影；通过检测工位的设置，检测时，玻璃基板倾斜状放置在检测工位上，能够放大玻璃基板表面的灰度投影，提高检测精度和效率。

本发明授权玻璃基板表面洁净度测试设备及测试方法在权利要求书中公布了：1.一种玻璃基板表面洁净度测试设备，其特征在于，包括： 检测平台（1）； 若干检测工位（2），其设置在检测平台（1）上，且每个检测工位（2）内均设置有一支撑工装（20）； 检测装置（4），其滑动设置在检测平台（1）上方； 其中，玻璃基板移动至检测工位（2）上方后，将玻璃基板倾斜放置在检测工位（2）； 玻璃基板一端与支撑工装（20）抵接，以与支撑工装（20）的内壁形成玻璃基板限位区； 检测装置（4）向玻璃基板发送平行光束，光束穿过倾斜状的玻璃基板后发生折射，以放大玻璃基板表面污渍的灰度投影； 所述检测工位（2）包括：底座（21），其内部开设一容纳槽（22），且上端敞口； 定位条（23），两所述定位条（23）对称设置在容纳槽（22）侧壁，且与水平面之间设有倾斜夹角； 隔板（24），其水平设置在容纳槽（22）内，且与容纳槽（22）底壁设有间隙； 所述支撑工装（20）铰接在容纳槽（22）远离定位条（23）的一端侧壁； 其中，玻璃基板底壁与定位条（23）抵接后，玻璃基板推动所述支撑工装（20）以铰接点为轴翻转； 所述容纳槽（22）内壁远离支撑工装（20）处设置有一喷淋装置（25），所述喷淋装置（25）的喷淋头朝向支撑工装（20）； 若玻璃基板检测出有污渍，喷淋装置（25）向玻璃基板底壁喷水以清理污渍，水流自玻璃基板底壁掉落在隔板（24）上； 支撑工装（20）在翻转时，隔板（24）上的水流适于流向容纳槽（22）底壁； 所述支撑工装（20）包括：支撑板（201），其水平设置； 转轴（202），其转动设置在容纳槽（22）的内壁，且贯穿所述支撑板（201）； 密封板（203），其垂直设置在支撑板（201）的底壁，且与隔板（24）抵接； 其中，玻璃基板底壁与定位条（23）抵接时，玻璃基板顶推所述支撑板（201）以转轴（202）为轴翻转，以使密封板（203）远离隔板（24）； 所述隔板（24）为透明材质，所述隔板（24）底壁设置有一灰度相机（27），所述灰度相机（27）被配置为获取隔板（24）上表面的灰度影像。

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