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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119642743B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411878098.0，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质是由阿民;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质。晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；激光光源用于发出探测激光；晶圆运动模块用于反射探测激光生成反射激光；位置探测模块用于接收反射激光；检测方法包括：获取探测激光与晶圆运动模块的第一夹角和反射激光与位置探测模块的第二夹角；获取晶圆运动模块运动时反射激光在位置探测模块上的移动距离；根据第一夹角、第二夹角以及移动距离计算晶圆运动模块的运动状态参数；运动状态参数包括倾斜角度和振幅。采用上述技术方案，简单高效的计算出晶圆运动模块的运动状态参数，以便工作人员对晶圆运动模块进行校准，进而提升晶圆检测精度。

本发明授权一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基于晶圆检测系统的检测方法，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块； 所述激光光源用于发出探测激光；所述晶圆运动模块用于反射所述探测激光生成反射激光；所述位置探测模块用于接收所述反射激光； 所述检测方法包括： 获取所述探测激光与所述晶圆运动模块的第一夹角和所述反射激光与所述位置探测模块的第二夹角； 获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离； 根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数；所述运动状态参数包括倾斜角度； 获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，包括： 获取所述晶圆运动模块以预设间隔多次水平运动时，所述反射激光在所述位置探测模块上移动的第一距离集合；其中，所述水平运动包括所述晶圆运动模块靠近或者远离所述位置探测模块运动；所述第一距离集合包括多个第一距离元素值； 根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数，包括： 根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合计算所述晶圆运动模块的所述倾斜角度； 根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合计算所述晶圆运动模块的倾斜角度，包括： 根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合确定第一高度差集合；所述第一高度差集合包括多个第一高度差元素值，所述第一高度差元素值与所述第一距离元素值对应；所述第一高度差元素值是指所述探测激光在所述晶圆运动模块当前状态时的入射位置与初始状态时的入射位置在第一方向上的高度差值； 获取水平运动距离集合；所述水平运动距离集合包括多个水平运动距离元素值；所述水平运动距离元素值是指任一运动状态下所述晶圆运动模块与预设平面之间的交点位置以及所述探测激光在所述晶圆运动模块上的入射位置在第二方向上的第一距离差值；所述第二方向与所述第一方向相交； 根据所述第一高度差集合和所述水平运动距离集合确定所述倾斜角度。

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