苏州华太电子技术股份有限公司兰金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州华太电子技术股份有限公司申请的专利超结IGBT及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119342854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411864647.9,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权超结IGBT及其制造方法是由兰金龙;祁金伟设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本超结IGBT及其制造方法在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种超结IGBT及其制造方法,其中,超结IGBT包括:漂移区;所述漂移区内形成有柱区,柱区的导电类型与漂移区的导电类型相反;柱区沿漂移区的厚度方向延伸,多个柱区在漂移区内并排且间隔设置;外延层,形成在漂移区的上表面;超结IGBT的中心部分作为元胞区,外围部分作为终端区;所述外延层位于元胞区的部分形成有栅极结构;外延层位于终端区的部分设有终端环区,终端环区围绕元胞区呈环状;终端环区的导电类型与外延层的导电类型相反。本申请实施例提供的超结IGBT提高了终端区的承压能力。
本发明授权超结IGBT及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种超结IGBT,其特征在于,包括: 漂移区;所述漂移区内形成有柱区,柱区的导电类型与漂移区的导电类型相反;柱区沿漂移区的厚度方向延伸,多个柱区在漂移区内并排且间隔设置; 外延层,形成在漂移区的上表面;超结IGBT的中心部分作为元胞区,外围部分作为终端区;所述外延层位于元胞区的部分形成有栅极结构;外延层位于终端区的部分设有终端环区,终端环区围绕元胞区呈圆角矩形的环状;终端环区的导电类型与外延层的导电类型相反; 承压区,形成在漂移区的下表面;承压区的导电类型与漂移区的导电类型相同,承压区的掺杂浓度小于漂移区的掺杂浓度;承压区的厚度大于15μm,承压区的掺杂浓度小于3E14。
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