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龙图腾网获悉安徽美达伦光伏科技有限公司申请的专利一种晶硅电池场效应钝化用的PECVD设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119677239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411784561.5，技术领域涉及：H10F77/30；该发明授权一种晶硅电池场效应钝化用的PECVD设备是由杨晓磊;樊远胜;宛正;杨恒春设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶硅电池场效应钝化用的PECVD设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶硅电池场效应钝化用的PECVD设备，涉及晶硅光伏电池生产技术领域，所述多晶硅（Poly‑Si）薄膜结构包括两个低浓度掺杂区与两个高浓度掺杂区，所述低浓度掺杂区和高浓度掺杂区逐层堆叠。本发明通过低浓度掺杂区和高浓度掺杂区逐层堆叠，让高浓度掺杂区中的自由载流子向低浓度掺杂区扩散，留下带电荷的固定离子，使高浓度掺杂区成为高净电荷区，低浓度掺杂区结晶度高，载流子迁移率高，且抑制杂质原子扩散，通过设置高净电荷区，实现了增强的场效应钝化作用，从而提高晶硅光伏电池的效率。

本发明授权一种晶硅电池场效应钝化用的PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种晶硅电池场效应钝化用的PECVD设备，包括反应腔体（1），其特征在于，还包括： 套筒（2），其插设于反应腔体（1）底部，所述套筒（2）中安装有转动柱（3），所述转动柱（3）顶端安装有下极板（4），所述套筒（2）顶部安装有罩盖住下极板（4）的屏蔽罩（201），所述屏蔽罩（201）下方安装有若干个以转动柱（3）为中心的环形加热元件（202），所述屏蔽罩201内部放置有布热网10，且布热网10与下极板4之间预留有间隙； 抑流环（5），其安装于套筒（2）和转动柱（3）之间，所述套筒（2）内部通过抑流环（5）分隔为储存冷却液的蓄热腔（203）和散热腔（204），所述蓄热腔（203）内转动安装有与抑流环（5）相配合的扰流开合件（6）； 所述扰流开合件（6）包括与蓄热腔（203）内壁转动连接的盖环（601），所述盖环（601）上开设有上通孔（602），所述抑流环（5）上开设有与上通孔（602）相对应的下通孔（501），所述盖环（601）顶部环形分布有若干个扰流拨片（603）； 所述下极板（4）底部固定连接有插杆（401），所述转动柱（3）顶部固定连接有供插杆（401）插入的对接头（301），所述对接头（301）外侧壁固定连接有推板（302），所述推板（302）与扰流拨片（603）抵接配合； 所述反应腔体（1）内部于下极板（4）上方安装有上极板（7），所述上极板（7）顶部固定连接有与反应腔体（1）外部相连通的进气管件（8），所述上极板（7）底部嵌设有喷淋板（9），所述进气管件（8）的排气端安装有导流环（801），所述导流环（801）与进气管件（8）之间形成有环形槽（802），所述进气管件（8）底部开设有一圈与环形槽（802）相连通的泄气斜孔（803）； 所述屏蔽罩（201）分散环形加热元件（202）热量的同时，转动柱（3）带动扰流开合件（6）转动，使蓄热腔（203）和散热腔（204）内的冷却液间歇性混合。

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