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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种晶锭小面区域的高效检测方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119666740B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411778311.0，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种晶锭小面区域的高效检测方法和设备是由朱佳凯;刘东立设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶锭小面区域的高效检测方法和设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶锭小面区域的高效检测方法和设备。本发明的目的是提供一种晶锭小面区域的高效检测方法，该方法将激光束整形为矩形激光输出，以面激光扫描代替点激光扫描，扩大单次扫描区域，从而提高了扫描效率，并且避免了晶锭端面信息遗漏，使晶锭端面检测的效率和分辨率更高；同时，本发明采用银反射镜获取矩形激光的光强分布，进而对晶锭反射光光强分布进行校正，从而避免矩形激光光强不均匀对晶锭反射光光强分布的影响，提升测量的精度。

本发明授权一种晶锭小面区域的高效检测方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种晶锭小面区域的高效检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 1）激光器，用于出射特定波长的激光，将特定波长的激光通过匀光系统优化为平顶光束； 2）通过光束整形系统将激光束整形为矩形光束； 3）将矩形激光束经分光片反射至晶锭表面，在晶锭表面发生反射； 4）通过电动位移台带动晶锭表面运动，使激光按固定路径扫描晶锭表面，同时由CCD检测并记录反射光的光强分布； 5）将反射光光强分布信息传输至控制端，结合银反射镜校正激光能量分布不均引起的误差，识别晶锭小面区域；所述银反射镜校正阶段包括以下步骤： a）在电动位移台处摆放银反射镜； b）不改变激光、匀光系统和光束整形系统的参数，将激光光束经匀光系统后传输至光束整形系统； c）光束整形系统输出矩形激光束，经分光片反射部分激光传输至银反射镜上表面，并在上表面发生反射； d）CCD将银反射镜反射光光强分布图像传输至控制端； e）控制端将银反射镜反射光光强分布作为背景，对校正前的晶锭反射光光强分布进行校正，得到校正后的晶锭反射光光强分布；控制端将所有校正后的晶锭反射光光强分布图像拼接到一起，根据图像的反射光强度识别晶锭表面的小面区域。

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