拓荆科技(上海)有限公司路希龙获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种电磁阀控制的隔膜阀机构及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223227905U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422628712.X，技术领域涉及：F16K7/12；该实用新型一种电磁阀控制的隔膜阀机构及其薄膜沉积设备是由路希龙;董文惠;刘振;吴凤丽;唐仁鹏;张强;刘润哲;薛国标;王思琦;邓浩设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电磁阀控制的隔膜阀机构及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种电磁阀控制的隔膜阀机构及其薄膜沉积设备，隔膜阀机构包括：支架，连接于所述支架顶部的电磁阀组，连接于所述支架中部的隔膜阀组，以及连接于所述支架底部的气路岐块组件，所述电磁阀组控制输入至隔膜阀组的气路通断以控制所述隔膜阀组的开闭，所述隔膜阀组控制所述气路岐块组件的气路通断；其中，所述电磁阀组与所述隔膜阀组之间还设有隔热板。本实用新型的电磁阀控制的隔膜阀机构及其薄膜沉积设备，其通过在电磁阀组和隔膜阀组之间设置隔热板，一方面可以使电磁阀与隔膜阀之间的气路尽量缩短，同时隔热板能够阻隔气路岐块产生的热量传导至电磁阀，降低对电磁阀产生不利影响。
本实用新型一种电磁阀控制的隔膜阀机构及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种电磁阀控制的隔膜阀机构，其特征在于，包括：支架，连接于所述支架顶部的电磁阀组，连接于所述支架中部的隔膜阀组，以及连接于所述支架底部的气路岐块组件，所述电磁阀组控制输入至隔膜阀组的气路通断以控制所述隔膜阀组的开闭，所述隔膜阀组控制所述气路岐块组件的气路通断；其中，所述电磁阀组与所述隔膜阀组之间还设有隔热板。
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