浙江鑫柔科技有限公司陈前杰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江鑫柔科技有限公司申请的专利一种掩模版以及曝光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223229847U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422600848.X,技术领域涉及:G03F1/40;该实用新型一种掩模版以及曝光装置是由陈前杰;陈新强;江建国设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩模版以及曝光装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种掩模版以及曝光装置,涉及曝光技术领域。该掩模版包括基板、遮光层、导电镀层和保护镀层。遮光层、导电镀层和保护镀层依次设置于基板上,遮光层包括图案区和边框区,边框区围设于图案区外,导电镀层和保护镀层均呈透明状,保护镀层用于保护导电镀层和遮光层;所述导电镀层同时与所述图案区和或所述边框区导通,以防止遮光层受静电击伤。与现有技术相比,本实用新型提供的掩模版由于采用了设置于遮光层外的导电镀层以及设置于导电镀层外的保护镀层,所以具有良好的耐磨性和抗静电击伤能力,能够有效避免磨损以及遮光层受静电击伤的情况发生,延长使用寿命。
本实用新型一种掩模版以及曝光装置在权利要求书中公布了:1.一种掩模版,其特征在于,包括基板、遮光层、导电镀层和保护镀层,所述遮光层、所述导电镀层和所述保护镀层依次设置于所述基板上,所述遮光层包括图案区和边框区,所述边框区围设于所述图案区外,所述导电镀层和所述保护镀层均呈透明状,所述保护镀层用于保护所述导电镀层和所述遮光层; 所述导电镀层与所述图案区和或所述边框区导通,以防止所述遮光层受静电击伤。
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