华南理工大学肖舒获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119320930B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411487651.8,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法是由肖舒;刘建诚;黄勇;范泽菲;李思毅;江赛华设计研发完成,并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法在说明书摘要公布了:一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法,包括以下步骤:将经过气体离子源轰击清洗后的无氧铜基体送入第一镀膜工艺腔室内,采用双靶材通过脉冲直流磁控溅射方式进行同步溅射,以在无氧铜基体表面形成从纯镍层过渡到纯铬层的镍、铬复合梯度过渡层;将表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至冷却室内,进行静置冷却至预设温度;将冷却后的表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至第二镀膜工艺腔室内,采用中频磁控溅射方式进行溅射,以在镍、铬复合梯度过渡层的表面沉积形成氧化铝涂层。本发明通过在无氧铜基体的表面沉积由纯镍层过渡到纯铬层的复合梯度过渡层,减小了无氧铜基体与氧化铝涂层之间热膨胀系数的变化梯度,降低了在温度升降过程中二者在交界面处的热应力累积,从而提升氧化铝涂层的耐热冲击性能。
本发明授权一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S11,将经过气体离子源轰击清洗后的无氧铜基体送入第一镀膜工艺腔室内,采用双靶材通过脉冲直流磁控溅射方式进行同步溅射,以在无氧铜基体表面形成从纯镍层过渡到纯铬层的镍、铬复合梯度过渡层,其中,随着沉积过程的进行,逐渐降低镍靶材的溅射电压,同步逐渐增加铬靶材的溅射电压; 所述镍、铬复合梯度过渡层的厚度为0.5~2μm,镍靶材的溅射电压由预设电压逐渐降低至0V,铬靶材的溅射电压对应由0V逐渐上升至预设电压; 所述镍、铬复合梯度过渡层与所述无氧铜基体的接触面为纯镍层,与所述氧化铝涂层的接触面为纯铬层; 步骤S12,将表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至冷却室内,进行静置冷却至预设温度; 步骤S13,将冷却后的表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至第二镀膜工艺腔室内,采用中频磁控溅射方式进行溅射,以在镍、铬复合梯度过渡层的表面沉积形成氧化铝涂层。
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