江苏博涛智能热工股份有限公司归玉龙获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏博涛智能热工股份有限公司申请的专利半导体沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223226169U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422566292.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型半导体沉积设备是由归玉龙设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体沉积设备，包括壳体、安装于所述壳体内的喷淋板和托盘，所述托盘用于承载沉积基体；所述喷淋板将所述壳体内部分隔成相互连通的混合腔室和反应腔室，所述混合腔室的进气口配合设置有扩散体，外源气体经由所述扩散体流入所述混合腔室；所述托盘位于所述反应腔室内并与所述喷淋板相对设置，所述托盘和所述喷淋板中的至少其中之一被设置为可相对另一进行距离调节。本实用新型中，扩散体和混合腔室的设置能够增强气体的混合效果，通过多次实验能够获得托盘和喷淋板之间的最佳距离，因而能够调节气体在反应腔室的流动模式和气体浓度的均匀性，以达到理想的沉积效果。
本实用新型半导体沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体沉积设备，包括壳体1、安装于所述壳体1内的喷淋板2和托盘3，所述托盘3用于承载沉积基体4，其特征在于： 所述喷淋板2将所述壳体1内部分隔成相互连通的混合腔室和反应腔室，所述混合腔室的进气口配合设置有扩散体5，外源气体经由所述扩散体5流入所述混合腔室； 所述托盘3位于所述反应腔室内并与所述喷淋板2相对设置，所述托盘3和所述喷淋板2中的至少其中之一被设置为可相对另一进行距离调节。
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