中冶赛迪技术研究中心有限公司;中冶赛迪集团有限公司李秀玲获国家专利权
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龙图腾网获悉中冶赛迪技术研究中心有限公司;中冶赛迪集团有限公司申请的专利掩膜版固定及切换装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223226150U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422544856.7，技术领域涉及：C23C14/04；该实用新型掩膜版固定及切换装置是由李秀玲;邓惠丹;张建波;杨玉;段青松;谭庆;漆锐;陈南菲;冯科;余海涛设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜版固定及切换装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种掩膜版固定及切换装置，包括底板和设于底板上的夹持固定组件，以及中间嵌装有掩膜版的卡接板；所述底板上设有框架，框架内设有内槽，所述夹持固定组件设于所述内槽的外侧，并部分延伸至内槽上方；所述卡接板的轮廓形状与内槽相匹配，所述卡接板与内槽可分离配合；安装掩膜版时，卡接板携带掩膜版一同放置于所述内槽中，通过内槽对掩膜版进行定位，所述夹持固定组件从上方压住卡接板，使卡接板固定在内槽中。继而镀膜过程中进行加热后，夹具机械固定的残余应力直接作用在卡接板上，通过卡接板分摊薄膜掩膜版本体的受力，减少掩膜版在加热过程中的受力变形。
本实用新型掩膜版固定及切换装置在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版固定及切换装置，其特征在于：包括底板和设于底板上的夹持固定组件，以及中间嵌装有掩膜版的卡接板；所述底板上设有框架，框架内设有内槽，所述夹持固定组件设于所述内槽的外侧，并部分延伸至内槽上方；所述卡接板的轮廓形状与内槽相匹配，所述卡接板与内槽可分离配合；安装掩膜版时，卡接板携带掩膜版一同放置于所述内槽中，通过内槽对掩膜版进行定位，所述夹持固定组件从上方压住卡接板，使卡接板固定在内槽中。
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