东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司王振获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利半导体检测设备及其调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223230319U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422536616.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体检测设备及其调节装置是由王振;倪进华;许鸿亮设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体检测设备及其调节装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体检测设备及其调节装置，调节装置包括载台、第一升降机构和第二升降机构。载台用于承载待检测的半导体器件。第一调节机构用于驱动载台沿竖向升降且包括第一楔形件和第二楔形件，第二楔形件与第一楔形件通过楔形面可滑动地连接，第二楔形件被配置为在第一楔形件的驱动下带动载台沿竖向升降。第二调节机构设于第二楔形件，第二调节机构包括多个调节单元，每个调节单元包括柔性连接件和设于柔性连接件下方的微量驱动机构，柔性连接件连接于载台和第二楔形件，微量驱动机构能够沿竖向伸缩变形，以选择性地向上顶升柔性连接件或释放柔性连接件。本申请既可扩大载台的竖向行程范围，又可提高载台沿竖向的调节精度。
本实用新型半导体检测设备及其调节装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测设备的调节装置，其特征在于，包括： 载台，用于承载待检测的半导体器件； 第一调节机构，用于驱动所述载台沿竖向升降，所述第一调节机构包括第一楔形件和第二楔形件，所述第一楔形件和所述第二楔形件通过楔形面可滑动地连接，所述第二楔形件被配置为在所述第一楔形件的驱动下带动所述载台沿竖向升降；以及 第二调节机构，设于所述第二楔形件，用于驱动所述载台沿竖向微动，所述第二调节机构包括多个调节单元，每个所述调节单元包括柔性连接件和设于所述柔性连接件下方的微量驱动机构，所述柔性连接件连接于所述载台和所述第二楔形件，所述微量驱动机构能够沿竖向伸缩变形，以选择性地向上顶升所述柔性连接件或释放所述柔性连接件。
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