繁枫新能源(上海)有限公司潘宇获国家专利权
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龙图腾网获悉繁枫新能源(上海)有限公司申请的专利一种用于基片加热的真空加热系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223226164U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422511558.8,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型一种用于基片加热的真空加热系统是由潘宇;卢豪;曾鹏飞;徐勇设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于基片加热的真空加热系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于基片加热的真空加热系统,涉及真空镀膜技术领域,其技术方案是:包括底座,底座设为长方体结构,底座顶部固定连接有两个支撑杆,两个支撑杆顶端均固定连接有支撑块,定位套筒,定位套筒设于底座顶部,定位套筒固定连接在两个支撑块前侧,定位套筒内部设有加热机构,连接套筒,连接套筒设于定位套筒前侧,连接套筒起到密封的效果,加热机构包括两个电力加热板,两个电力加热板分别嵌设在定位套筒和连接套筒内部,本实用新型的有益效果是:本实用新型极大地提高了对真空镀膜工作的效率,同时本装置采用接触加热和空间加热的配合使用,使得加热效果更加充分,给生产带来极大地收益。
本实用新型一种用于基片加热的真空加热系统在权利要求书中公布了:1.一种用于基片加热的真空加热系统,其特征在于:包括 底座(1),所述底座(1)设为长方体结构,所述底座(1)顶部固定连接有两个支撑杆(2); 两个所述支撑杆(2)顶端均固定连接有支撑块(3); 定位套筒(4),所述定位套筒(4)设于底座(1)顶部,所述定位套筒(4)固定连接在两个支撑块(3)前侧,所述定位套筒(4)内部设有加热机构; 连接套筒(5),所述连接套筒(5)设于定位套筒(4)前侧,所述连接套筒(5)起到密封的效果; 所述加热机构包括两个电力加热板(6),两个所述电力加热板(6)分别嵌设在定位套筒(4)和连接套筒(5)内部。
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