上海良薇机电工程有限公司张一明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种用于半导体气体的混气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223221293U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422497104.X，技术领域涉及：B01F23/10；该实用新型一种用于半导体气体的混气装置是由张一明;纪雪峰设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体气体的混气装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于半导体气体的混气装置，包括容器部件、混气部件、加压部件、监测部件和控制部件。其优点在于，通过在容器部件的内部设置混气部件，可对通入容器部件内的不同气体进行混合，从而增强容器部件内部的气体的混合效率，增加混合效果；此外，通过在容器部件的内部设置监测部件和加压部件，在监测部件所监测的容器部件内部的压力以及供应流量较小的情况下，加压部件可压缩容器部件内部的空间，实现对容器部件内部压力以及对下游工艺设备的供应流量的加强。
本实用新型一种用于半导体气体的混气装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体气体的混气装置，其特征在于，包括： 容器部件，所述容器部件分别与上游工艺设备、下游工艺设备连通，用于接收上游工艺设备的多种气体并将混合气体输送至下游工艺设备； 混气部件，所述混气部件设置于所述容器部件的内部，用于扰动所述容器部件内部的气体； 加压部件，所述加压部件设置于所述容器部件的内部，用于压缩所述容器部件内部的空间； 监测部件，所述监测部件设置于所述容器部件的出气口处，用于实时监测所述容器部件内部的压力以及流量； 控制部件，所述控制部件设置于所述容器部件，并分别与所述容器部件、所述混气部件、所述加压部件和所述监测部件连接，用于控制所述容器部件、所述混气部件和所述加压部件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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