深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司王忠军获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利固定环及化学机械研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223223142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422462384.0，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型固定环及化学机械研磨装置是由王忠军设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本固定环及化学机械研磨装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种固定环及化学机械研磨装置，固定环包括：环形本体，环形本体的内侧具有用于容纳待研磨件的容纳空间，环形本体具有用于朝向研磨垫的底部；其中，该底部设置有数个第一沟槽，第一沟槽具有相对的第一端和第二端；第一沟槽的第一端连通容纳空间，第一沟槽的第二端连通环形本体的外侧，且第一沟槽的第二端的横截面面积大于第一沟槽的第一端的横截面面积。能够提高第一沟槽外侧的研磨液的捕获量，从而提高研磨液输送到容纳空间的输送效率，提高研磨液的输送量。
本实用新型固定环及化学机械研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种固定环，其特征在于，包括： 环形本体，所述环形本体的内侧具有用于容纳待研磨件的容纳空间，所述环形本体具有用于朝向研磨垫的底部； 其中，所述底部设置有数个第一沟槽，所述第一沟槽具有相对的第一端和第二端；所述第一沟槽的所述第一端连通所述容纳空间，所述第一沟槽的所述第二端连通所述环形本体的外侧，且所述第一沟槽的所述第二端的横截面面积大于所述第一沟槽的所述第一端的横截面面积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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