上海新微技术研发中心有限公司翁佳清获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种贴膜系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223230317U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422456643.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种贴膜系统是由翁佳清设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种贴膜系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种贴膜系统，包括载具、移动机构、放卷辊、第一收卷辊和压辊。移动机构包括水平位移组件，载具承载基体并在水平位移组件的带动下沿第一方向可控地移动。干膜的一端卷绕于垂直于第一方向的放卷辊，且干膜沿第一方向移动时带动放卷辊转动。第一收卷辊可控地转动，从而收卷干膜使干膜张紧并沿第一方向移动。压辊的高度高于载具，其底部将干膜压紧粘接于基体表面。干膜从放卷辊移动至压辊底部的行程于从压辊底部移动至第一收卷辊的行程的比限制在1：0.95～1.05，有助于抑制在压辊附近的干膜产生因流动性较强导致的局部松弛堆积，防止干膜局部堆积导致的厚度较大的条带的产生。
本实用新型一种贴膜系统在权利要求书中公布了：1.一种贴膜系统，其特征在于，用于将干膜102压接于基体101表面，所述贴膜系统包括： 载具1，用于承载所述基体101； 移动机构，包括用于带动所述载具1沿第一方向可控地发生位移的水平位移组件，所述水平位移组件用于将所述载具1移动至贴膜位置； 放卷辊2，其轴向垂直于所述第一方向，所述干膜102沿所述第一方向移动时，所述放卷辊2发生转动； 第一收卷辊3，用于卷绕所述干膜102远离所述放卷辊2的一端并可控地转动，使所述干膜102保持张紧状态并可控地移动； 压辊5，设置于所述贴膜位置上方，所述压辊5用于约束所述干膜102的延伸方向，使所述干膜102压紧粘接于所述基体101远离所述载具1的表面，所述干膜102从所述放卷辊2移动至所述压辊5底部的行程为第一行程，所述干膜102从所述压辊5底部移动至所述第一收卷辊3的行程为第二行程，所述第一行程和所述第二行程的比为1：0.95～1.05中的任一值。
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