理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司夏帅获国家专利权
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龙图腾网获悉理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司申请的专利一种石墨舟及管式镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223226170U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422427467.6，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种石墨舟及管式镀膜设备是由夏帅;刘磊;秦金鹏;王雪楠;奚明设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨舟及管式镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及管式镀膜设备领域，提供一种石墨舟及管式镀膜设备，石墨舟包括舟体、石墨连接块、加强结构以及陶瓷杆，舟体包括载片舟页、上舟页和下舟页；石墨连接块设置于舟体长度方向两端；加强结构包括陶瓷支撑块和碳化硅加强杆，陶瓷支撑块设置于舟体长度方向两端且相对位于下舟页下方，碳化硅加强杆连接舟体长度方向两端的陶瓷支撑块；陶瓷杆适于贯通连接上舟页、石墨连接块、下舟页和陶瓷支撑块。本申请的陶瓷支撑块和碳化硅加强杆通过陶瓷杆固定于下舟页底部，能够增强下舟页抗弯强度，减小弯曲变形量，确保石墨舟为等间距的平板电容式内电极结构；而且陶瓷支撑块与石墨连接块的安装位置一致，减少安装步骤和零部件数量，成本低，易于实现。
本实用新型一种石墨舟及管式镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种石墨舟，其特征在于，包括： 舟体，所述舟体包括载片舟页、上舟页和下舟页，所述上舟页设置于所述舟体顶部，所述下舟页设置于所述舟体底部，所述载片舟页间隔设置的所述上舟页和所述下舟页之间； 石墨连接块，所述石墨连接块设置于所述舟体长度方向两端； 加强结构，所述加强结构包括陶瓷支撑块和碳化硅加强杆，所述陶瓷支撑块设置于所述舟体长度方向两端且相对位于所述下舟页下方，所述碳化硅加强杆连接所述舟体长度方向两端的所述陶瓷支撑块且所述碳化硅加强杆紧贴所述下舟页； 陶瓷杆，所述陶瓷杆适于贯通连接所述上舟页、所述石墨连接块、所述下舟页以及所述陶瓷支撑块并通过石墨螺母锁紧。
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