江苏博涛智能热工股份有限公司杨玉峰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏博涛智能热工股份有限公司申请的专利柔性载台及承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223230335U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422433799.5，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型柔性载台及承载装置是由杨玉峰设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本柔性载台及承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种柔性载台及承载装置，其中柔性载台包括可拆卸晶圆载盘、柔性载台基座，柔性载台基座设置有若干柔性承载机构以用于承载可拆卸晶圆载盘，可拆卸晶圆载盘包括：具有若干安装孔的环形的转接环；一端安装到安装孔的连接手臂，连接手臂的另一端设置有晶圆支撑块，连接手臂均沿连接环的径向设置且沿伸的朝向一致。本实用新型结构简单，实现了晶圆承载结构的快速更换的同时还实现了载体之间的柔性接触，为晶圆在作业中提供了额外的缓冲余量，具有更好的安全性。
本实用新型柔性载台及承载装置在权利要求书中公布了：1.一种柔性载台，其特征在于，包括可拆卸晶圆载盘、柔性载台基座，所述柔性载台基座设置有若干柔性承载机构以用于承载所述可拆卸晶圆载盘， 所述可拆卸晶圆载盘包括：具有若干安装孔的环形的转接环；一端安装到所述安装孔的连接手臂，所述连接手臂的另一端设置有晶圆支撑块，所述连接手臂均沿连接环的径向设置且沿伸的朝向一致。
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