无锡尚积半导体科技股份有限公司范雄获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利一种高度可调的进气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223230316U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422390530.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种高度可调的进气装置是由范雄;韩超然;王兆丰;王世宽设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高度可调的进气装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种高度可调的进气装置，涉及刻蚀技术领域，包括上下设置的气体喷嘴和静电吸盘，气体喷嘴安装在进气盘的中部，进气盘的外侧沿周向方向均布有四个用于控制其升降的电动马达升降器，进气盘的外边缘底部设有金属波纹管，静电吸盘置于真空腔体内，其底部设有用于支撑的圆筒座，真空腔体的上端设有环形底座，且四个电动马达升降器安装在环形底座的顶面上，金属波纹管的上下两端分别与进气盘底面以及环形底座的内侧顶面密封连接，其内腔与真空腔体的内腔连通。本申请的电动升降器可直接实现气体喷嘴的升降，金属波纹管具有弹性可伸缩，当进气盘停止时能对其进行辅助支撑，从而在实现进气与静电吸盘间距离调控的同时，还能提升稳定性。
本实用新型一种高度可调的进气装置在权利要求书中公布了：1.一种高度可调的进气装置，其特征在于，包括上下设置的气体喷嘴（1）和静电吸盘（2），所述气体喷嘴（1）安装在进气盘（3）的中部，所述进气盘（3）的外侧沿周向方向均布有四个用于控制其升降的电动马达升降器（4），进气盘（3）的底部设有金属波纹管（5），所述静电吸盘（2）置于真空腔体（6）内，其底部设有用于支撑的圆筒座（7），所述真空腔体（6）的腔体壁上端设有环形底座（8），且四个电动马达升降器（4）安装在环形底座（8）的顶面上，所述金属波纹管（5）的上下两端分别与进气盘（3）底面以及环形底座（8）的内侧顶面密封连接，其内腔与真空腔体（6）连通。
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