上海鸿辉光通科技股份有限公司龚武斌获国家专利权
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龙图腾网获悉上海鸿辉光通科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗甩干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223222054U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422385858.6，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆清洗甩干装置是由龚武斌设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗甩干装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，且公开了一种晶圆清洗甩干装置，包括：晶圆甩干机、用于排出晶圆甩干机产生废弃去离子水的排水管、用于收集废弃去离子水的收集箱、以及用于检测废弃去离子水电阻率的电阻测试仪，所述收集箱上还设置有刮壁组件。该晶圆清洗甩干装置，先利用收集箱临时收集晶圆甩干机通过排水管排出的废弃去离子水，再通过电阻测试仪检测所排出去离子水的电阻率，以判断其电阻率是否符合标准，如果电阻率低于标准，水中离子浓度较高，意味着晶圆表面仍有残留物未被彻底清洗，则禁止该等晶圆流入下一工序，并且将该晶圆重新冲洗，直到废弃去离子水的电阻率达到标准为止，以此便可保障晶圆的清洗效果。
本实用新型一种晶圆清洗甩干装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗甩干装置，其特征在于，包括：晶圆甩干机1、用于排出晶圆甩干机1产生废弃去离子水的排水管4、用于收集废弃去离子水的收集箱2、以及用于检测废弃去离子水电阻率的电阻测试仪3，所述收集箱2上还设置有刮壁组件5，所述刮壁组件5包括与收集箱2固定连接的立柱51、与立柱51滑动连接的滑板53、固定安装于滑板53底面的第一固定杆54、固定安装于第一固定杆54底面的固定柱57、固定安装于固定柱57底面的装载板55、以及用于清除收集箱2侧壁残留水珠的环状吸水棉56； 所述装载板55上还设置有连接组件6，所述连接组件6包括滑动设置于固定柱57内部的活动板66、与活动板66固定连接的连杆62、与连杆62固定连接的连接环61、与连接环61固定连接的第二固定杆63、固定安装于第二固定杆63端部的插块65、以及固定安装于环状吸水棉56内侧的橡胶环64，所述插块65与装载板55滑动连接，且插块65还与橡胶环64插接。
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