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中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院任玲玲获国家专利权

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龙图腾网获悉中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院申请的专利一种样品稳定装卸的薄膜材料相变温度测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119147579B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411323919.4,技术领域涉及:G01N25/12;该发明授权一种样品稳定装卸的薄膜材料相变温度测量装置是由任玲玲;李硕;金森林;李孟莲;贺建芸设计研发完成,并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种样品稳定装卸的薄膜材料相变温度测量装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种样品稳定装卸的薄膜材料相变温度测量装置,属于半导体薄膜热性能测量领域,包括快关门、真空腔体、匣板阀、进样舱室、磁力进样杆,快关门设置在真空腔体的一侧,进样舱室设置在真空腔体远离快关门的一侧,匣板阀安装在进样舱室靠近真空腔体的一侧,磁力进样杆安装在进样舱室远离匣板阀的一侧,真空腔体的底部设置有电控位移平台,真空腔体的内部设置有接收架,电控位移平台的外部套设有蒸发源,蒸发源位于接收架的正下方;本发明通过装置中磁力进样杆、接收架与蒸发源的相互配合;解决了进样过程中样品不固定的问题,保证了光路稳定;同时也保证了样品台的稳定和腔室的密闭性;并且样品与热电偶可稳定压力接触。

本发明授权一种样品稳定装卸的薄膜材料相变温度测量装置在权利要求书中公布了:1.一种样品稳定装卸的薄膜材料相变温度测量装置,其特征在于:包括快关门、真空腔体、匣板阀、进样舱室、磁力进样杆,所述快关门设置在所述真空腔体的一侧,所述进样舱室设置在所述真空腔体远离所述快关门的一侧,所述匣板阀安装在所述进样舱室靠近所述真空腔体的一侧,所述磁力进样杆安装在所述进样舱室远离所述匣板阀的一侧,所述真空腔体的底部设置有电控位移平台,所述真空腔体的内部设置有接收架,所述电控位移平台的外部套设有蒸发源,所述蒸发源位于所述接收架的正下方,且所述磁力进样杆靠近所述进样舱室的一端设置有样品台,所述磁力进样杆与所述样品台通过锁紧机构相连接; 所述接收架包括支撑杆、弹性压片、接收台和固定盘,所述固定盘固定在所述真空腔体上侧的内表面,所述支撑杆固定在固定盘的下侧,所述接收台与所述支撑杆相连接,所述弹性压片设置在所述接收台靠近所述支撑杆的两侧; 所述样品台包括上平板、样品托板和螺母,所述上平板的中心位置设置有通光孔,所述样品托板设置在所述上平板的下方,所述上平板与所述样品托板通过所述螺母相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北三环东路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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