深圳大学翟敏获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利保形涂层检测方法、装置、电子设备、存储介质及产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119354069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411292963.3,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权保形涂层检测方法、装置、电子设备、存储介质及产品是由翟敏;何文龙;翟聪;施昊濂设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本保形涂层检测方法、装置、电子设备、存储介质及产品在说明书摘要公布了:本申请公开了一种保形涂层检测方法、装置、电子设备、存储介质及产品,涉及无损检测技术领域,公开的保形涂层检测方法包括:获取待测芯片的太赫兹反射信号,并生成所述太赫兹反射信号的时域光谱;将所述时域光谱转换为频域光谱,并基于所述频域光谱和预设的参考频域光谱构建初始传递函数,其中,所述初始传递函数为所述频域光谱与所述参考频域光谱的比值;通过预设的自回归模型对所述传递函数进行频域重建操作,得到优化传递函数;根据所述优化传递函数计算所述待测芯片的保形涂层的特征。本申请能够保障保形涂层的高精度测量。
本发明授权保形涂层检测方法、装置、电子设备、存储介质及产品在权利要求书中公布了:1.一种保形涂层检测方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待测芯片的太赫兹反射信号,并生成所述太赫兹反射信号的时域光谱; 将所述时域光谱转换为频域光谱,并基于所述频域光谱和预设的参考频域光谱构建初始传递函数,其中,所述初始传递函数为所述频域光谱与所述参考频域光谱的比值; 通过预设的自回归模型对所述传递函数进行频域重建操作,得到优化传递函数; 根据所述优化传递函数计算所述待测芯片的保形涂层的特征; 所述通过预设的自回归模型对所述传递函数进行频域重建操作,得到优化传递函数的步骤,包括: 对所述传递函数进行频域分析,以确定所述传递函数中高信噪比区域的低频阈值和高频阈值; 通过预设的自回归模型,计算所述传递函数中低频区域和高频区域的缺失分量,其中,所述低频区域为所述传递函数中频率低于所述低频阈值的区域,所述高频区域为所述传递函数中频率高于所述高频阈值的区域; 基于所述缺失分量对所述传递函数进行频域重建操作,得到优化传递函数。
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