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苏州材装半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州材装半导体设备有限公司申请的专利真空泵冷却系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223227474U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422237841.6,技术领域涉及:F04B39/06;该实用新型真空泵冷却系统是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

真空泵冷却系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种真空泵冷却系统,包括真空泵单元、冷却装置、管道组件以及至少一个控制阀,所述真空泵单元通过所述管道组件与所述冷却装置相连,所述真空泵单元包括至少两个真空泵,所述管道组件包括第一管道和至少一个第二管道;所述第一管道用于连通所述冷却装置与其中一个真空泵,至少一个所述控制阀安装于所述第二管道以控制所述第二管道与所述第一管道之间的通断。本实用新型能够解决多排气系统共用一套冷却装置时,多个管道之间的串气问题。同时,还能够避免不同真空泵工作时的互相干涉,确保单个真空泵在工作时不会受到另一个真空泵的高温废气影响,进而保证真空泵工作时能够提供较好的真空度,有效提高真空泵的工作效率。

本实用新型真空泵冷却系统在权利要求书中公布了:1.真空泵冷却系统,其特征在于:包括: 真空泵单元、冷却装置、管道组件以及至少一个控制阀,所述真空泵单元通过所述管道组件与所述冷却装置相连,所述真空泵单元包括至少两个真空泵,所述管道组件包括第一管道和至少一个第二管道;所述第一管道用于连通所述冷却装置与其中一个真空泵,至少一个所述第二管道用于连接所述第一管道和另一个真空泵,至少一个所述控制阀安装于所述第二管道以控制所述第二管道与所述第一管道之间的通断。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州材装半导体设备有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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