重庆康佳光电科技有限公司王鹏鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆康佳光电科技有限公司申请的专利一种蚀刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223230313U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422186384.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种蚀刻设备是由王鹏鹏;肖峰;苟先华设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蚀刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及蚀刻技术领域，具体涉及一种蚀刻设备，该蚀刻设备包括卡夹腔、传送腔以及工艺腔，该工艺腔对承载盘上放置的多块待蚀刻晶圆进行蚀刻，蚀刻完成后通过传送腔传送至卡夹腔；该卡夹腔内部上方设置有一水雾系统，该水雾系统用于喷射出水雾以对蚀刻完成后的承载盘进行清洗，以溶解残留在承载盘上的含氯的蚀刻气体，避免直接将承载盘取出后含氯的蚀刻气体与空气中的水分反应，其反应生成物对人体造成危害，该卡夹腔内部下方设置有一排液口，用于排出清洗后的液体；该卡夹腔外壁设置有加热装置，可对卡夹腔进行加热以蒸发承载盘上的残留水分。
本实用新型一种蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备包括卡夹腔、传送腔以及工艺腔，所述工艺腔用于对承载盘上放置的多块待蚀刻晶圆进行蚀刻，蚀刻完成后通过所述传送腔传送至所述卡夹腔； 所述卡夹腔内部上方设置有一水雾系统，所述水雾系统用于喷射出水雾以对蚀刻完成后的所述承载盘进行清洗；所述卡夹腔内部下方设置有一排液口，所述排液口用于排出清洗后的液体； 所述卡夹腔外壁还安装有加热装置，所述加热装置用于对所述卡夹腔进行加热以蒸发所述承载盘上的残留水分。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆康佳光电科技有限公司，其通讯地址为：402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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