深圳市大族数控科技股份有限公司佘蓉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族数控科技股份有限公司申请的专利基板加工设备及基板加工系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223231386U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422190707.5,技术领域涉及:H05K3/00;该实用新型基板加工设备及基板加工系统是由佘蓉;席渊;唐旭伟;张孝维;谢章雄;杨朝辉设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加工设备及基板加工系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种基板加工设备及基板加工系统,涉及基板加工设备领域,其中,基板加工设备包括振动工作台;振动工作台固定有待加工的基板,用于在加工过程中以设定的振幅和频率带动振动工作台上的基板在第一方向振动,使高速旋转的加工刀具与基板之间形成周期性接触与分离,以实现对基板的加工。本实施例中,通过在基板加工设备上设置振动工作台,并通过振动工作台在加工过程中设定的振幅和频率带动其上的基板在第一方向进行高频振动,简化了传统主轴振动方式的复杂结构,降低了成本,解决了现有基板加工设备采用主轴振动方式的结构复杂且成本较高的问题。
本实用新型基板加工设备及基板加工系统在权利要求书中公布了:1.一种基板加工设备,其特征在于,包括振动工作台,所述振动工作台包括超声振动工作台,所述超声振动工作台包括加工工作台和超声振动装置; 所述加工工作台固定有待加工的基板; 所述超声振动装置,用于在加工过程中以设定的振幅和频率带动所述加工工作台上的所述基板在第一方向振动,使高速旋转的加工刀具与所述基板之间形成周期性接触与分离,以实现对所述基板的加工。
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