苏州罗科装备技术有限公司杨新国获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州罗科装备技术有限公司申请的专利一种晶圆甩干设备的喷射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223222044U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422169492.9，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆甩干设备的喷射装置是由杨新国;苏建斌;邱伟设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆甩干设备的喷射装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆甩干设备的喷射装置晶圆甩干设备的喷射装置，包括喷杆，喷杆一端设有接口，另一端为封闭端，接口用于与流体通道连接，喷杆的外圆设有喷射口，若干喷射口沿喷杆轴向间隔设置，喷杆内设有至少一条输送通道，输送通道与喷射口连通，输送通道用于与流体通道连通向喷射口输送清洗介质，输送通道由接口向封闭端延伸。本实用新型的技术方案能够扩大喷射范围，提升清洗效果；此外，可以避免两种或几种不同且互相干扰的自洁用清洗介质在自洁清洗介质管路里的互相污染的功能特性。
本实用新型一种晶圆甩干设备的喷射装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆甩干设备的喷射装置，其特征在于，包括喷杆，喷杆一端设有接口，另一端为封闭端，接口用于与流体通道连接，喷杆的外圆设有喷射口，若干喷射口沿喷杆轴向间隔设置，喷杆内设有至少一条输送通道，输送通道与喷射口连通，输送通道用于与流体通道连通向喷射口输送清洗介质，输送通道由接口向封闭端延伸，所述输送通道至少有两个，所述喷杆设有若干组喷射口，每组喷射口与一条输送通道连通，每组喷射口沿喷杆轴向设有若干喷射口。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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