源卓微纳科技(苏州)股份有限公司戴德政获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种高精度焦面补偿装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223229850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422155450.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种高精度焦面补偿装置是由戴德政;马运军;高安;钱文泽;汪旭;张雷设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度焦面补偿装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高精度焦面补偿装置，包括光源、光线整形单元、投影镜头、掩膜版，还包括设置于所述光线整形单元和投影镜头之间的纠偏组件，所述纠偏组件包括焦面纠偏机构和掩膜安装机构，所述掩膜版安装于所述掩膜安装机构，所述掩膜安装机构竖直安装于所述焦面纠偏机构，所述焦面纠偏机构安装于所述投影镜头外壁的安装台上用于调节掩膜版与投影镜头进光端的水平间距；根据投影镜头热机单位时间内焦距变化量调节掩膜安装机构上的掩膜版与投影镜头进光端的水平间距，实现对焦面位置的精准控制，相比传统调焦方案，这种热补偿方案在满足精准调焦的同时，能更好控制成本，且操作简单便捷。
本实用新型一种高精度焦面补偿装置在权利要求书中公布了：1.一种高精度焦面补偿装置，包括光源、光线整形单元、投影镜头、掩膜版，其特征在于，还包括设置于所述光线整形单元和投影镜头之间的纠偏组件，所述纠偏组件包括焦面纠偏机构和掩膜安装机构，所述掩膜版安装于所述掩膜安装机构，所述掩膜安装机构竖直安装于所述焦面纠偏机构，所述焦面纠偏机构安装于所述投影镜头外壁的安装台上用于调节掩膜版与投影镜头进光端的水平间距； 其中，所述焦面纠偏机构包括两组分别安装于所述安装台上的直线电机定子、设置于所述直线电机定子顶部的直线电机动子、固定连接于所述直线电机动子顶部的弯折板，两组所述弯折板远离投影镜头的一端均与掩膜安装机构固定连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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