安徽恒坤新材料科技有限公司林国清获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽恒坤新材料科技有限公司申请的专利含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118930777B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411184173.3，技术领域涉及：C08G8/08；该发明授权含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法是由林国清;王静;毛鸿超;李禾禾;马丽丽设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法在说明书摘要公布了：本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法。所述含萘二甲酰亚胺类聚合物具有式1所示结构。所述硬掩模组合物含有含萘二甲酰亚胺类聚合物、交联剂、催化剂、表面活性剂和溶剂。本发明设计并合成具有特定结构的含萘二甲酰亚胺类聚合物，一方面可以提高含有该聚合物的硬掩模组合物的耐刻蚀性能，另一方面也能提高硬掩模组合物的耐热性能，为超精细光刻图案提供一种解决的思路。
本发明授权含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法在权利要求书中公布了：1.一种含萘二甲酰亚胺类聚合物，其特征在于，所述含萘二甲酰亚胺类聚合物具有式1所示结构： 式1中，n为1～300的整数，R1为氢、C1～C10的烷基、C6～C30的芳基或C6～C30的取代芳基，C6～C30的取代芳基为甲苯基、苯甲基、萘甲基、蒽甲基或芘甲基，R2为氢或C1～C6的烷基，R3选自以下结构中的至少一种： 其中，表示与其它结构单元的连接键，R4为氢或C1～C4的烷基，R5为氢或羟基； 所述含萘二甲酰亚胺类聚合物的重均分子量为2000～15000Da，多分散度PDI为1.5～3.5。
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