深圳市华芯半导体装备技术有限公司余焕丽获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请的专利一种用于晶圆制造的双通道控温系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223229894U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422083902.8，技术领域涉及：G05D23/24；该实用新型一种用于晶圆制造的双通道控温系统是由余焕丽;夏裕设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆制造的双通道控温系统在说明书摘要公布了：本实用新型晶圆制造相关技术领域，尤其涉及一种用于晶圆制造的双通道控温系统，包括双通道控温装置，所述双通道控温装置连接第一设备，所述双通道控温装置连接第二温控器。该用于晶圆制造的双通道控温系统，通过设置多个输入单元和多个处理单元实现控温设备可同时获取多个连接设备的温度信息，提高了控温设备的工作效率，降低了用户的成本，减少了晶圆生产加工过程中配套设备数量，优化了半导体设备的电路布置，通过设置多个输出通道单元是先控温设备可同时对多个连接设备分别进行指令信息发送控制，并实现对同一设备通过多个输出通道单元分别输出指令信息，扩大了控温设备的输出连接设备状态信息的方式。
本实用新型一种用于晶圆制造的双通道控温系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆制造的双通道控温系统，包括双通道控温装置，其特征在于：所述双通道控温装置连接第一设备，所述双通道控温装置连接第二设备，所述双通道控温装置连接第一温控器，所述双通道控温装置连接第二温控器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市华芯半导体装备技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然五路12号天安数码城天祥大厦六层6D；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号