安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司徐会杰获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种半导体设备用的喷淋头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223226166U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422045261.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种半导体设备用的喷淋头是由徐会杰;孙晓东;顾勇;屈长明;程飞;王家奇;蔡爱玲;陈占开;郭铁设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备用的喷淋头在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体镀膜设备技术领域，具体涉及一种半导体设备用的喷淋头，为解决等离子体通过的喷淋头喷出的问题。该喷淋头包括等离子消除箱、设置在所述等离子消除箱下方的混合箱、设置在所述混合箱下方的出气箱、设置在所述等离子消除箱上的进气管、连通所述等离子消除箱和所述混合箱的第一导管和连通所述出气箱和所述出气箱的第二导管；所述等离子消除箱内设有等离子消除板，所述等离子消除板上设有若干气体通道；所述混合箱内设有搅拌装置；所述出气箱底部设有若干出气孔。
本实用新型一种半导体设备用的喷淋头在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备用的喷淋头，其特征在于，包括等离子消除箱1、设置在所述等离子消除箱1下方的混合箱2、设置在所述混合箱2下方的出气箱3、设置在所述等离子消除箱1上的进气管4、连通所述等离子消除箱1和所述混合箱2的第一导管5和连通所述出气箱3和所述出气箱3的第二导管6； 所述等离子消除箱1内设有等离子消除板11，所述等离子消除板11上设有若干气体通道12； 所述混合箱2内设有搅拌装置； 所述出气箱3底部设有若干出气孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司，其通讯地址为：242000 安徽省宣城市宣城经济技术开发区清流路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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