海太半导体(无锡)有限公司谢楠获国家专利权
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龙图腾网获悉海太半导体(无锡)有限公司申请的专利一种能够蒸汽排放的半导体夹具全自动清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223222039U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422014780.7,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种能够蒸汽排放的半导体夹具全自动清洗设备是由谢楠;边毅设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能够蒸汽排放的半导体夹具全自动清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种能够蒸汽排放的半导体夹具全自动清洗设备,包括机架;蒸汽主槽设置在机架内;清洗单元传送带和烘干单元传送带沿着夹具的输送方向安装在蒸汽主槽内,位于机架的清洗入口和清洗出口之间;蒸汽清洗单元和烘干单元沿着夹具蒸汽清洗后再烘干的方向安装在蒸汽主槽内,并分别罩设在清洗单元传送带和烘干单元传送带的上方;蒸汽抽风冷却排放单元设置在机架的顶部,入风口通过蒸汽清洗单元管道连接。本实用新型将蒸汽清洗和烘干采用两个不同单元模块,位于蒸汽清洗单元的顶部通过安装的抽风机实现对蒸汽罩内的残余蒸汽冷却后集中排放,避免液化回流,同时配有压力传感器协同PC机实现监控与快速反馈。
本实用新型一种能够蒸汽排放的半导体夹具全自动清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种能够蒸汽排放的半导体夹具全自动清洗设备,其特征在于,包括: 机架1,所述机架1内沿着水平方向在相对两侧面上开设有清洗入口2和清洗出口3; 蒸汽主槽4,所述蒸汽主槽4设置在机架1内,顶部开口,内部形成容纳蒸汽清洗单元和烘干单元的腔体,四周形成与机架1之间的间隔; 清洗单元传送带5和烘干单元传送带6,所述清洗单元传送带5和烘干单元传送带6沿着夹具的输送方向安装在蒸汽主槽4内,位于机架1的清洗入口2和清洗出口3之间,所述清洗单元传送带5和烘干单元传送带6之间间隙设置; 蒸汽清洗单元和烘干单元,所述蒸汽清洗单元和烘干单元沿着夹具蒸汽清洗后再烘干的方向安装在蒸汽主槽4内,并分别罩设在清洗单元传送带5和烘干单元传送带6的上方,所述蒸汽清洗单元和烘干单元内均开设有传递夹具的传递孔7; 蒸汽抽风冷却排放单元,所述蒸汽抽风冷却排放单元设置在机架1的顶部,入风口通过蒸汽清洗单元管道连接。
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