深圳市晶相技术有限公司;深圳市辰中科技有限公司;苏州辰华半导体技术有限公司陈卫军获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市晶相技术有限公司;深圳市辰中科技有限公司;苏州辰华半导体技术有限公司申请的专利一种半导体高温退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223228778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422017993.5，技术领域涉及：F27B17/00；该实用新型一种半导体高温退火设备是由陈卫军;郭炳磊;欧阳增图设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体高温退火设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体高温退火设备，所述半导体高温退火设备包括：退火腔体，设置有至少一炉门；工作台，设置在所述退火腔体内；加热装置，设置在所述退火腔体内；退火箱，设置在所述工作台上。通过本实用新型提供的一种半导体高温退火设备，可提高晶圆的退火质量和退火效率。
本实用新型一种半导体高温退火设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体高温退火设备，其特征在于，包括： 退火腔体，设置有至少一炉门； 工作台，设置在所述退火腔体内； 加热装置，设置在所述退火腔体内；以及 退火箱，设置在所述工作台上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市晶相技术有限公司;深圳市辰中科技有限公司;苏州辰华半导体技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区坪山街道六和社区招商花园城17栋S1704；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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