安徽华矽半导体科技有限公司詹河源获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司申请的专利一种载板清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223222064U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421978815.2，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型一种载板清洗设备是由詹河源;孙晓东;顾勇;屈长明;任国强;刘宁;王家奇;朱月;孙小翠设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载板清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种载板清洗设备，为解决对载板进行清洁、保养的问题。该解决对载板进行清洁、保养的问题。该载板清洗设备包括龙门行车吊、设置在所述龙门行车吊下方的反应槽、设置在所述龙门行车吊下方的喷淋槽、设置在所述龙门行车吊下方的鼓泡漂洗槽、设置在所述龙门行车吊下方的超声波漂洗槽、设置在所述龙门行车吊下方的热风干燥槽和控制电箱；还包括若干用于装载载板的吊装框架。通过反应槽内的酸的反应去除载板上的膜层，然后通过喷淋槽、鼓泡漂洗槽和超声波漂洗槽去清洗，去除载板上的酸液，最后通过热风干燥槽干燥载板，最终完成载板的清洁和保养。
本实用新型一种载板清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种载板清洗设备，其特征在于， 包括龙门行车吊2、设置在所述龙门行车吊2下方的反应槽3、设置在所述龙门行车吊2下方的喷淋槽5、设置在所述龙门行车吊2下方的鼓泡漂洗槽6、设置在所述龙门行车吊2下方的超声波漂洗槽7、设置在所述龙门行车吊2下方的热风干燥槽8和控制电箱10； 还包括若干用于装载载板的吊装框架1； 所述龙门行车吊2用于将装载有载板的吊装框架1进行运输； 所述反应槽3内设有酸洗液，用于对放入的载板进行酸洗； 所述喷淋槽5用于对放入的载板进行喷淋，去除载板表面的酸液； 所述鼓泡漂洗槽6用于对放入的载板进行进行第一步漂洗； 所述超声波漂洗槽7用于对放入的载板进行第二步漂洗； 所述热风干燥槽8用于对放入的载板进行干燥； 所述控制电箱10与所述龙门行车吊2电信号连接，控制所述龙门行车吊2的运行。
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