南通玖方新材料股份有限公司杨宗明获国家专利权
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龙图腾网获悉南通玖方新材料股份有限公司申请的专利一种真空镀膜承载装置的固定结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223226172U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421874586.X,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型一种真空镀膜承载装置的固定结构是由杨宗明;王小东;高晗;张清清设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜承载装置的固定结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空镀膜承载装置的固定结构,包括硅片承载盘(100)和硅片承载框(101),所述硅片承载盘(100)开设的通孔穿设有销轴(3),所述硅片承载框(101)开设的双孔洞穿设有开口卡簧(4),所述开口卡簧(4)与销轴(3)的沟槽卡合配合进行紧固,本实用新型有效的解决了承载盘与承载框连接固定问题,同时减少了承载盘加工对原材料厚度及平整度的依赖,从而提高产品生产加工效率。
本实用新型一种真空镀膜承载装置的固定结构在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜承载装置的固定结构,其特征在于:包括硅片承载盘(100)和硅片承载框(101),所述硅片承载盘(100)开设的通孔穿设有销轴(3),所述硅片承载框(101)开设的双孔洞穿设有开口卡簧(4),所述开口卡簧(4)与销轴(3)的沟槽卡合配合进行紧固。
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