南京原磊纳米材料有限公司周明获国家专利权
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龙图腾网获悉南京原磊纳米材料有限公司申请的专利一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223230332U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421830132.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔是由周明;王延临设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体器件生产技术领域，提供一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔，驱动载台包括一段驱动机构和二段驱动机构，二段驱动机构包括底座、波纹管、密封筒体、支撑筒体和驱动装置；波纹管连接底座和真空腔；密封筒体连接底座，支撑筒体设置在密封筒体内侧，且连接驱动装置运动末端的第二转动螺母；底座固定连接一段驱动机构的活动端。本申请通过设置两段行程的结构，在相对较小的空间，实现晶圆承载台预定高度的行程设计，从而有效降低晶圆承载台的初始高度，增大晶圆承载台的上下运动的行程，在取放晶圆的机械手位置固定的情况下，提高存储盒内晶圆的存储量，提高存储盒的存储效率。
本实用新型一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔在权利要求书中公布了：1.一种真空系统用的二段行程的驱动载台，其特征在于，包括：一段驱动机构1和二段驱动机构2； 所述二段驱动机构2包括：底座21、波纹管22、密封筒体23和支撑筒体24，以及，设置在所述底座21上的驱动装置25，所述驱动装置25的活动端设置有第二转动螺母26，所述支撑筒体24上端设置有晶圆承载台200； 所述波纹管22一端连接所述底座21，另一端连通真空腔100且与所述真空腔100密封连接；所述密封筒体23设置于所述波纹管22的内部，且与所述波纹管22一体成型，所述支撑筒体24可滑动的设置在所述密封筒体23内侧，且支撑筒体24连接所述第二转动螺母26； 所述底座21固定连接所述一段驱动机构1的活动端，以带动所述密封筒体23和支撑筒体24跟随所述一段驱动机构1的活动端移动，且所述一段驱动机构1的活动端的运动轨迹所在直线平行于所述第二转动螺母26的运动轨迹所在直线。
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