上海芯之翼半导体材料有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯之翼半导体材料有限公司申请的专利静电吸盘密封件拆卸工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223223292U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421705743.4，技术领域涉及：B25B27/00；该实用新型静电吸盘密封件拆卸工具是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘密封件拆卸工具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电吸盘密封件拆卸工具，包括：主体，其顶部贴合静电吸盘一侧边缘形成有避空结构；滑挑件，其形成在主体的避空结构上，其用于将密封圈与静电吸盘沟槽滑切分离；其中，滑挑件的最远端与主体的竖直侧壁之间距离范围为静电吸盘的沟槽深度30％～70％。由于半导体设备中空间非常有限，静电吸盘多数置于腔体中，且静电吸盘与腔体侧壁之间空间极小，这种客观条件决定了普通工具无法适用于静电吸盘密封圈拆除，本实用新型设计的结构非常适用于静电吸盘密封圈的拆除，能快速准确拆卸静电吸盘密封圈，避免拆卸密封圈时造成静电吸盘损坏。
本实用新型静电吸盘密封件拆卸工具在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘密封件拆卸工具，其特征在于，包括： 主体（1），其顶部贴合静电吸盘一侧边缘形成有避空结构（1.1）； 滑挑件（2），其形成在主体（1）的避空结构（1.1）上，其用于将密封圈与静电吸盘沟槽滑切分离； 其中，滑挑件（2）的最远端与主体（1）的竖直侧壁之间距离范围为静电吸盘的沟槽深度30%~70%。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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