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龙图腾网获悉江苏盟星智能科技有限公司申请的专利一种晶圆加工检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118943036B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410955191.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆加工检测方法及系统是由梅力;胡朗;胡冬云设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆加工检测方法及系统，涉及加工检测技术领域，包括：获取第一晶圆和第二晶圆的三维集成设计信息，进行重合度检测，获取第一晶圆的边缘重合度以及第二晶圆的边缘重合度，若均大于预设边缘重合度，获取第二检测指令，生成三维模拟数据集，并控制晶圆检测设备进行检测，输出三维检测图像集，进行边缘识别，并以边缘识别数据获取键合加工重合度，为标识第一晶圆和第二晶圆键合后边缘的垂直重合度，生成键合偏移提醒信息。本发明解决了现有技术在多层晶圆连接时，无法准确对三维键合的晶圆进行检测，并且缺乏偏移情况分析，导致无法准确评估晶圆加工过程中的键合质量的技术问题。

本发明授权一种晶圆加工检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工检测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取第一晶圆和第二晶圆的三维集成设计信息； 分别基于所述第一晶圆和所述第二晶圆厚度的上边缘和下边缘进行重合度检测，获取所述第一晶圆的边缘重合度以及所述第二晶圆的边缘重合度； 若所述第一晶圆的边缘重合度以及所述第二晶圆的边缘重合度均大于预设边缘重合度，获取第二检测指令； 利用所述三维集成设计信息生成三维模拟数据集，并以所述第二检测指令控制晶圆检测设备对三维晶圆体进行检测，输出三维检测图像集，其中，所述三维晶圆体为所述第一晶圆和所述第二晶圆进行三维通孔键合加工后的晶圆； 根据所述三维检测图像集进行边缘识别，并以边缘识别数据获取键合加工重合度，其中，所述键合加工重合度为标识所述第一晶圆和所述第二晶圆键合后边缘的垂直重合度； 根据所述键合加工重合度，生成键合偏移提醒信息； 其中，根据所述三维检测图像集进行边缘识别，并以边缘识别数据获取键合加工重合度，包括： 获取所述第一晶圆的俯视图像的边缘样本数据和侧视图像的边缘样本数据； 获取所述三维检测图像集，其中，所述三维检测图像集包括俯视图像集和侧视图像； 通过对所述俯视图像进行边缘数据提取，并与所述俯视图像的边缘样本数据进行比对，获取第一加工重合度； 通过对所述侧视图像进行边缘数据提取，并与所述侧视图像的边缘样本数据进行比对，获取第二加工重合度； 根据所述第一加工重合度和所述第二加工重合度获取键合加工重合度； 其中，通过对所述俯视图像进行边缘数据提取，并与所述俯视图像的边缘样本数据进行比对，获取第一加工重合度，包括： 通过对所述俯视图像进行灰度转换，基于晶圆边缘检测得到所述俯视图像中的边缘灰度像素坐标集； 根据所述俯视图像的边缘样本数据，得到样本边缘灰度像素坐标集； 以所述边缘灰度像素坐标集和所述样本边缘灰度像素坐标集进行坐标点灰度值比对，得到坐标重合率，将所述坐标重合率作为所述第一加工重合度进行输出； 其中，通过对所述侧视图像进行边缘数据提取，并与所述侧视图像的边缘样本数据进行比对，获取第二加工重合度，包括： 通过对所述侧视图像进行灰度转换，基于晶圆边缘检测得到所述侧视图像的两个晶圆边缘线； 对所述两个晶圆边缘线中每两个相邻边缘线进行相对间距识别，得到相对间距均匀性； 根据所述相对间距均匀性，确定间距偏移度，将所述间距偏移度作为所述第二加工重合度进行输出。

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