长鑫科技集团股份有限公司陈信夫获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫科技集团股份有限公司申请的专利衬底处理装置及其镀膜挡件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116949424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310957414.2，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权衬底处理装置及其镀膜挡件是由陈信夫设计研发完成，并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及其镀膜挡件在说明书摘要公布了：本公开涉及一种衬底处理装置及其镀膜挡件，衬底处理装置的镀膜挡件包括：第一挡件及第二挡件。第一挡件抵接于反应腔室的顶壁或与反应腔室的顶壁设有第一间隙。第二挡件抵接于反应腔室的侧壁或与反应腔室的侧壁设有第二间隙，第二挡件的顶部与第一挡件相连，并环绕第一挡件的边缘周向设置，使第一挡件与第二挡件的顶部形成密封，这样反应腔室内部在真空泵的作用下形成的负压对第一挡件与反应腔室的顶壁之间的第一间隙不产生影响，即第一挡件与反应腔室的顶壁之间的第一间隙不再产生负压气流场，进而便无法将源组件的源气体通过窗口吸入第一间隙并转移到反应组件对应的反应区域，从而减小颗粒杂质的产生，且提高衬底表面上沉积的膜层均一性。
本发明授权衬底处理装置及其镀膜挡件在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置的镀膜挡件，用于可拆卸地装设于反应腔室内部，其特征在于， 所述衬底处理装置的镀膜挡件包括： 第一挡件，所述第一挡件抵接于所述反应腔室的顶壁或与所述反应腔室的顶壁设有第一间隙，所述第一挡件上开设有多个窗口，各个所述窗口与所述反应腔室顶壁上的各个气体输出部对应设置；及 第二挡件，所述第二挡件抵接于所述反应腔室的侧壁或与所述反应腔室的侧壁设有第二间隙，所述第二挡件的顶部与所述第一挡件相连，并环绕所述第一挡件的边缘周向设置； 其中，所述第二挡件环绕所述第一挡件的边缘周向设置的顶部的各个部位均与所述第一挡件密封相连。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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