买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116679443B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310694444.9，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法是由程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌设计研发完成，并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。本发明能够显著降低微镜的吸合电压，并可降低器件的工作电压。

本发明授权一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，包括： 设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转； 所述支撑及电连接柱为两个，所述支撑及电连接柱上设有导电轴套，所述微桥桥面连接在导电扭臂的侧面上，所述扭臂通过两端穿设于两个所述支撑及电连接柱的所述轴套中形成活动支撑配合，所述微镜镜面通过所述扭臂、所述轴套和所述支撑及电连接柱电连接所述衬底； 所述支撑及电连接柱形成于沟槽中，所述沟槽设于牺牲层中，所述牺牲层位于所述衬底与所述微桥桥面之间，所述支撑及电连接柱包括形成于所述沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于所述导电体内侧的支撑体，所述微桥桥面活动支撑于所述支撑体和所述导电体上，所述微镜镜面通过所述导电体电连接所述衬底，所述微桥结构通过去除所述牺牲层得以释放；其中，所述微镜结构在所述衬底上按行列方式排列形成阵列，位于同行或同列的任意两个相邻的所述微镜结构之间共用同一个所述支撑及电连接柱，或者，位于同行或同列的任意两个相邻的所述微镜结构的各自一个所述支撑及电连接柱相靠近设置，并形成于同一个所述沟槽的相对侧的侧壁上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海技术物理研究所，其通讯地址为：200083 上海市虹口区玉田路500号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。