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江苏纳沛斯半导体有限公司李锋获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏纳沛斯半导体有限公司申请的专利一种半导体硅片自动涂胶装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116329025B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310509621.1,技术领域涉及:B05C5/02;该发明授权一种半导体硅片自动涂胶装置及方法是由李锋;李文青;郭蓉蓉;邵鹏远设计研发完成,并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体硅片自动涂胶装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体硅片自动涂胶装置及方法,包括水平传输组件和设置在水平传输组件侧边的喷胶组件,所述水平传输组件的尾端设置有上料组件,该上料组件由两根U型立轨一和两根U型立轨二组成矩形框架,且U型立轨一和U型立轨二的内部均滑动连接有齿条,相邻所述齿条间通过连接条进行连接,该连接条沿齿条的长度方向等距分布有若干,且每一根连接条的内侧均固定有托板形成沿竖直方向层叠的半导体硅片置物区;所述水平传输组件与上料组件之间通过联动结构进行连接。本发明中的联动结构同时实现水平传输带的水平运动传输硅片和托板连续下料至水平传输带上的操作,使得整个生产加工流程的连续性和同步性更高,有效提高了生产效率。

本发明授权一种半导体硅片自动涂胶装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅片自动涂胶装置,包括用于水平传输半导体硅片的水平传输组件1和设置在水平传输组件1侧边的喷胶组件2,其特征在于:所述水平传输组件1的尾端设置有上料组件3,该上料组件3由两根U型立轨一31和两根U型立轨二32组成矩形框架,且U型立轨一31和U型立轨二32的内部均滑动连接有齿条33,相邻所述齿条33间通过连接条34进行连接,该连接条34沿齿条33的长度方向等距分布有若干,且每一根连接条34的内侧均固定有托板35形成沿竖直方向层叠的半导体硅片置物区,所述U型立轨一31的底部前侧开设有豁口311,且豁口311的内部贯穿有驱动齿轮36; 所述水平传输组件1包括有一对侧架11、转动安装在一对侧架11前后两端的端轴12、固定在一对侧架11底部四角的底架13、固定在侧架11外壁的步进电机14和套接在两个端轴12之间的水平传输带15,所述水平传输组件1与上料组件3之间通过联动结构进行连接; 所述联动结构包括有与后侧端轴12同轴连接的主动轮4、转动安装在侧架11间的转杆5、与转杆5同轴连接的从动轮6、套接在主动轮4与从动轮6之间的传送带7和固定在转杆5伸出侧架11表面一端的从动齿轮8,该从动齿轮8与驱动齿轮36啮合连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏纳沛斯半导体有限公司,其通讯地址为:223001 江苏省淮安市工业园区发展西道18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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