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龙图腾网获悉青岛天仁微纳科技有限责任公司申请的专利用于晶圆旋涂的真空吸笔、对位工装及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116493207B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211717828.X，技术领域涉及：B05C13/02；该发明授权用于晶圆旋涂的真空吸笔、对位工装及方法是由冀然;张显龙设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆旋涂的真空吸笔、对位工装及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆表面涂抹技术领域，公开一种用于晶圆旋涂的真空吸笔，包括吸笔本体、真空吸孔、排气口和真空泵，吸笔本体包括支撑部和手持部，手持部与支撑部连接，支撑部设置有若干顶针对位槽，顶针对位槽用于定位吸笔本体，支撑部上表面设置有凸出的弧形楞，弧形楞用于对齐晶圆边缘；真空吸孔设置在支撑部的上表面，用于吸取晶圆；排气口设置在支撑部的侧部；真空泵通过手持部与支撑部连通，真空泵包括抽气嘴和排气嘴，抽气嘴与真空吸孔连通，排气嘴与排气口连通。本公开能够用于转移晶圆，也可作为对位工装，在晶圆转移过程中，能够节省设备空间，便捷且成本低，操作简单。本申请还公开一种用于晶圆旋涂的对位工装及方法。

本发明授权用于晶圆旋涂的真空吸笔、对位工装及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆旋涂的真空吸笔，其特征在于，包括： 吸笔本体10，包括支撑部11和手持部12，所述手持部12与所述支撑部11连接，所述支撑部11设置有若干顶针对位槽15，所述顶针对位槽15用于定位所述吸笔本体10，所述支撑部11上表面设置有凸出的弧形楞16，所述弧形楞16用于对齐晶圆30边缘； 第一撑杆111，前端设置有第一顶针对位槽； 第二撑杆112，前端设置有第二顶针对位槽； 连接杆113，前侧设置有第三顶针对位槽，后侧与所述手持部12连接，所述连接杆113的两端分别连接所述第一撑杆111的后端与所述第二撑杆112的后端； 所述第一顶针对位槽、所述第二顶针对位槽和所述第三顶针对位槽构成等边三角形，所述等边三角形的中心与台盘20的中心重合，所述台盘20用于放置所述晶圆30； 真空吸孔13，设置在所述支撑部11的上表面，用于吸取晶圆30； 排气口14，设置在所述支撑部11的侧部； 真空泵，通过所述手持部12与所述支撑部11连通，所述真空泵包括抽气嘴和排气嘴，所述抽气嘴与所述真空吸孔13连通，所述排气嘴与所述排气口14连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛天仁微纳科技有限责任公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。