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济源豫金靶材科技有限公司郑云丰获国家专利权

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龙图腾网获悉济源豫金靶材科技有限公司申请的专利一种银铜锌合金溅射靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116334548B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211696203.X,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种银铜锌合金溅射靶材及其制备方法是由郑云丰;常红慧;赵岩;魏延尧;于朋;乔京卫设计研发完成,并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种银铜锌合金溅射靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种银铜锌合金溅射靶材及其制备方法。以质量百分含量表示,所述银铜锌合金溅射靶材由合金成分Cu6~20%、Zn4~10%、Ni0~2%和余量银组成。按照合金成分组成进行配料;所得原料进行熔炼、精炼、除气;除气后所得合金液采用铸铁模具进行浇铸,得到坯料;将所得坯料依次进行热轧、均匀化热处理和人工时效:时效后取出水冷,得到银铜锌合金溅射靶材。本发明通过合金元素的添加和覆盖剂的使用降低合金靶材的含氧量;利用合适的热加工和热处理工艺,来达到均匀靶材组织、细化晶粒的目的。本发明具有成本低、无污染,易于操作的优点,最终制得的银铜锌合金靶材氧含量小于20ppm,平均晶粒尺寸小于40μm。

本发明授权一种银铜锌合金溅射靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种银铜锌合金溅射靶材的制备方法,其特征在于,以质量百分含量表示,所述银铜锌合金溅射靶材由合金成分Cu6~20%、Zn4~10%、Ni0~2%和余量银组成; 其制备方法包括以下步骤: a、配料:按照所述银铜锌合金溅射靶材的合金成分组成进行配料; b、熔炼:将步骤a配制的物料进行熔炼,熔炼后得到合金液; 所述熔炼的具体过程为:将除锌块或锌块、镍块外的原料放入坩埚中,加入木炭完全覆盖坩埚表面,然后加热至1050~1200℃下保温4~10min;接着加入占配制合金原料总重量0.1~0.2%的硼砂和占配制合金原料总重量0.1~0.2%的冰晶石,加入后降温至950~1020℃,在此温度下加入镍块、锌块或锌块进行熔炼; c、精炼除气:将所得合金液进行精炼、除气; 所述精炼、除气的具体过程为:镍块、锌块或锌块加入后进行搅拌30~60s,950~1020℃下保温2~5分钟;然后利用锌元素本身在熔炼过程中产生的蒸气泡内外气体分压差进行除气; d、浇铸:精炼除气后所得合金液采用铸铁模具进行浇铸,得到坯料; 所述浇铸过程中,采用液化气外焰完全覆盖浇铸模具口和坩埚口; e、将所得坯料进行热轧,热轧温度为680~800℃,每道次量15%,总变形量为50~70%; f、将热轧所得卷材进行均匀化热处理,热处理温度为700~750℃、处理时间为1~2h,热处理后进行出炉水淬; 所述热处理过程中采用氩气保护; g、人工时效:水淬后在150~200℃下时效处理1~4h;时效后取出水冷,得到银铜锌合金溅射靶材。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人济源豫金靶材科技有限公司,其通讯地址为:454650 河南省济源市高新技术产业集聚区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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