浙江合特光电有限公司陶利松获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江合特光电有限公司申请的专利一种管式CVD设备的进抽气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211570787.6，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种管式CVD设备的进抽气系统是由陶利松;任建强设计研发完成，并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种管式CVD设备的进抽气系统在说明书摘要公布了：本申请涉及光伏电池制造设备的领域，尤其是涉及一种管式CVD设备的进抽气系统，包括连通于管式炉且用于送入反应气体的进气管和用于抽出反应产物的抽气管，进气管位于管式炉中一端连通有分布管，分布管开口长度方向和石墨舟长度方向相一致，分布管沿自身宽度方向设置数个，分布管的出气口朝向于石墨舟上部，抽气管进气口位于分布管出气口的上方，使得各个分布管能够朝向石墨舟各处较为均匀的进行送气，提升石墨舟上各处的硅片和反应气体之间充分接触以进行均匀的非晶硅薄膜沉积。
本发明授权一种管式CVD设备的进抽气系统在权利要求书中公布了：1.一种管式CVD设备的进抽气系统，包括连通于管式炉且用于送入反应气体的进气管1和用于抽出反应产物的抽气管2，其特征在于：所述进气管1位于管式炉中一端连通有分布管3，分布管3开口长度方向和石墨舟长度方向相一致，分布管3沿自身宽度方向设置数个，分布管3的出气口朝向于石墨舟上部，抽气管2进气口位于分布管3出气口的上方，所述分布管3出气口设有一组数个的分布叶42，同组中靠近于分布管3宽度方向两端的分布叶42均呈倾斜，同组中位于分布管3中心点两侧的分布叶42靠近于孔板4的侧边均靠近于同组中间位置处的分布叶42，所述抽气管2连通有位于分布管3上方的上部管43，上部管43长度方向和分布管3长度方向相一致，上部管43进气口背离分布管3，所述上部管43内部成型有沉积槽32，沉积槽32周边侧面开设有数个连通于抽气管2的内槽口33，内槽口33连通于沉积槽32的部分呈倾斜，内槽口33倾斜段越靠近沉积槽32的位置高度越低，内槽口33倾斜段内壁设有斜段板34，斜段板34垂直于内槽口33倾斜段的倾斜方向，斜段板34和内槽口33倾斜段上表面之间存在间距。
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