上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司赵宏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司申请的专利涂胶装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115657422B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211520067.9，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权涂胶装置是由赵宏飞;安冬;宣胤杰设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种涂胶装置，包括：涂胶喷嘴和清洗喷嘴；所述涂胶喷嘴与所述清洗喷嘴分别用于喷出所述光刻胶和所述清洗剂；所述涂胶喷嘴包括涂胶喷头，所述清洗喷嘴包括清洗喷头；所述涂胶喷头和所述清洗喷头均为管状，所述涂胶喷头和所述清洗喷头的方向相同且侧壁相互抵接，其中，所述涂胶喷头的端面超出所述清洗喷头，使得所述清洗喷头的所述清洗剂流经所述涂胶喷头的侧壁，能够在实现去除悬挂的光刻胶液滴的前提下，减少设备内的空间占用。
本发明授权涂胶装置在权利要求书中公布了：1.一种涂胶装置，其特征在于，包括：涂胶喷嘴和清洗喷嘴，所述涂胶喷嘴与所述清洗喷嘴分别用于喷出光刻胶和所述清洗剂；所述涂胶喷嘴包括涂胶喷头，所述清洗喷嘴包括清洗喷头，所述涂胶喷头和所述清洗喷头均为管状；其中，所述涂胶喷头和所述清洗喷头的方向相同且侧壁相互抵接，所述涂胶喷头的端面超出所述清洗喷头，使得所述清洗喷头喷出的所述清洗剂流经所述涂胶喷头的侧壁；所述涂胶喷嘴包括位于所述涂胶喷头末端的锥形部，使所述涂胶头喷出的物料在重力作用下积聚在所述锥形部的顶点处，且所述锥形部的顶点位于靠近所述清洗喷头的一侧，使所述清洗喷头喷出的所述清洗剂流经所述锥形部的顶点。
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