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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种三轴微机械加速度计及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115754351B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211465727.8，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种三轴微机械加速度计及其控制方法是由马志鹏;金仲和设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三轴微机械加速度计及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三轴微机械加速度计及其控制方法，属于加速度测量技术领域，包括XY两轴直线加速度和Z轴角加速度测量。通过单质量块和L形弹性梁，保证加速度计前三阶振动模态分别为上述三轴敏感运动。基于梳齿电容组合设计，提出闭环三轴加速度计控制方法，包括XY直线刚度修调方法、XY直线位移和Z转角检测方法、两轴力平衡和一轴力矩平衡方法。通过PID控制器计算力和力矩平衡电压，并以推挽方式施加至驱动电极上，实现闭环三轴加速度计控制。本发明采用单质量块和分布式梳齿结构设计，结构简单，加速度计控制方法简便，并融合了等效刚度修调方式，有助于提高三轴加速度计小型化、集成度和精度。

本发明授权一种三轴微机械加速度计及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种三轴微机械加速度计，其特征在于，包括加速度敏感元件、静电修调单元、直线位移检测单元、转角检测单元、力平衡单元、力矩平衡单元； 所述的加速度敏感元件包括单质量块和弹性梁，所述的单质量块是一个由多个分布质量结构通过刚性连接臂组合而成，与移动梳齿相连、对称分布，通过L型弹性梁与锚区相连； 所述的静电修调单元包括静电修调电极及其对应的静电修调梳齿，所述的静电修调梳齿与连接臂上的第一组固定梳齿组成静电修调电容；X向静电修调电容在X向静电修调电压作用下产生X轴方向的静电负刚度，Y向静电修调电容在Y向静电修调电压作用下产生Y轴方向的静电负刚度，静电修调单元在X轴和Y轴方向上产生的静电合力为零； 所述的直线位移检测单元包括检测电极及其对应的检测梳齿，所述的检测梳齿与连接臂上的第三组固定梳齿组成检测电容，用于实现X轴和Y轴直线位移检测； 所述的转角检测单元与直线位移检测单元共用检测电极和检测电容，但组合方式不同，用于实现Z轴转角检测； 所述的力平衡单元包括力驱动电极及其对应的力驱动梳齿，所述的力驱动梳齿与连接臂上的第二组固定梳齿组成力驱动电容； 所述的力矩平衡单元包括力矩驱动电极及其对应的力矩驱动梳齿，所述的力矩驱动梳齿与连接臂上的第四组固定梳齿组成力矩驱动电容。

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