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大连耐视科技有限公司那贵勋获国家专利权

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龙图腾网获悉大连耐视科技有限公司申请的专利一种单晶成品硅棒自动检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115638736B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211432879.8,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种单晶成品硅棒自动检测系统是由那贵勋;杨佳星设计研发完成,并于2022-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种单晶成品硅棒自动检测系统在说明书摘要公布了:本发明涉及硅棒检测技术领域,提供一种单晶成品硅棒自动检测系统,包括:工控机、输送机构、四轴机械手、V形支撑台、滑动安装立架、传感器系统、第一视觉系统、第二视觉系统;滑动安装立架通过第一移动机构安装在V形支撑台上;滑动安装立架具有菱形通孔,菱形通孔的内角为90°;传感器系统和第一视觉系统安装在滑动安装立架上;第一视觉系统,包括:第一线阵相机和第二线阵相机;第一线阵相机和第二线阵相机分别对应布置在菱形通孔的上边上方;传感器系统安装在滑动安装立架上,传感器系统包括多个接触式传感器,且多个接触式传感器布置在菱形通孔的四周。本发明能够实现方形硅棒的外观图像和尺寸数据的自动采集检测,提高硅棒检测效率。

本发明授权一种单晶成品硅棒自动检测系统在权利要求书中公布了:1.一种单晶成品硅棒自动检测系统,包括:工控机(18),其特征在于: 所述单晶成品硅棒自动检测系统,还包括:输送机构、四轴机械手(6)、V形支撑台(7)、滑动安装立架(26)、传感器系统(9)、第一视觉系统(10)、第二视觉系统(15); 所述四轴机械手(6)设置在输送机构上;所述四轴机械手(6)具有的第一夹爪(19)和第二夹爪(22);所述第一夹爪(19)上设置第一激光传感器(20),所述第二夹爪(22)上设置第二激光传感器(21);第一激光传感器(20)和第二激光传感器(21)位置对应;所述第一激光传感器(20)和第二激光传感器(21)用来检测硅棒(2)的长度; 所述V形支撑台(7)设置在输送机构的一侧;所述V形支撑台(7)与四轴机械手(6)位置对应; 所述滑动安装立架(26)通过第一移动机构(8)安装在V形支撑台(7)上;所述滑动安装立架(26)具有菱形通孔,所述菱形通孔的内角为90°;所述传感器系统(9)和第一视觉系统(10)安装在滑动安装立架(26)上; 所述第一视觉系统(10),包括:第一线阵相机和第二线阵相机;所述第一线阵相机和第二线阵相机分别对应布置在菱形通孔的上边上方;所述第一线阵相机用来拍摄硅棒(2)的第一侧面,检测硅棒(2)第一侧面的表面缺陷;所述第二线阵相机用来拍摄硅棒(2)的第二侧面,检测硅棒(2)第二侧面的表面缺陷; 所述传感器系统(9)安装在滑动安装立架(26)上,所述传感器系统(9)包括多个接触式传感器,且多个接触式传感器布置在菱形通孔的四周;所述接触式传感器具有12个,其中,4个接触式传感器布置在菱形通孔的四角外侧,用来检测不同尺寸硅棒(2)的对角距离;8个接触式传感器两两对应布置在菱形通孔的各边外侧,用来检测不同尺寸硅棒(2)的对边距离; 所述第二视觉系统(15)通过第二移动机构(14)安装在输送机构上,且第二移动机构(14)位于四轴机械手(6)的后方; 所述第二视觉系统(15),包括:第三线阵相机(24)和第四线阵相机(25);所述第三线阵相机(24)安装在输送机构的正侧方,所述第四线阵相机(25)安装在输送机构的正上方;所述第三线阵相机(24)用来拍摄硅棒(2)的第三侧面,检测硅棒(2)第三侧面的表面缺陷;所述第四线阵相机(25)用来拍摄硅棒(2)的第四侧面,检测硅棒(2)第四侧面的表面缺陷; 所述第一激光传感器(20)、第二激光传感器(21)、第一线阵相机、第二线阵相机、第三线阵相机(24)、第四线阵相机(25)和多个接触式传感器分别与工控机(18)信号连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人大连耐视科技有限公司,其通讯地址为:116000 辽宁省大连市高新技术产业园区广贤路107号鑫奇辉办公大楼118G;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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