无锡莱斯能特科技有限公司王辉获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡莱斯能特科技有限公司申请的专利一种传感器设计结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115790557B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211331126.8,技术领域涉及:G01C19/56;该发明授权一种传感器设计结构是由王辉设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传感器设计结构在说明书摘要公布了:本申请公开了一种传感器设计结构,特别适用于三轴MEMS陀螺仪结构设计,属于MEMS传感器领域。该结构设计有旋转框架,用于运动传递;设计有XY轴检测共享质量块,结构方面节省了驱动结构的面积,有效缩小了芯片整体尺寸;锚定框架上的锚点依据芯片在晶圆不同位置上的不同应力表现,可进行相应调整,以抵消或部分抵消MEMS制造工艺或封装应力影响,提升芯片性能;由于使用了如前所述的整体结构布局,因此本发明中的三轴MEMS陀螺仪结构紧凑、整体面积小、生产成本较低。
本发明授权一种传感器设计结构在权利要求书中公布了:1.一种传感器设计结构,其特征在于,适用于三轴MEMS陀螺仪的结构设计,该结构包括:基底,位于基底上的锚定框架(10),所述锚定框架(10)内的XY轴检测质量组(20)、Z轴检测质量组(30)、第一检测装置组(40)、第二检测装置组(50)、旋转框架(60)、驱动框架(70)、驱动弹簧(80)、Z轴检测弹簧(90)和驱动传递梁(100); 以所述锚定框架(10)为布局面,所述Z轴检测质量组(30)、所述第二检测装置组(50)、所述驱动框架(70)、所述驱动弹簧(80)和所述Z轴检测弹簧(90)对称设置于所述锚定框架(10)两侧,所述旋转框架(60)位于所述驱动框架(70)之间,且容置有所述XY轴检测质量组(20)和所述第一检测装置组(40); 所述Z轴检测质量组(30)设置于所述驱动框架(70)内,且通过所述Z轴检测弹簧(90)与所述驱动框架(70)互连; 所述驱动框架(70)的短边两侧通过所述驱动弹簧(80)与所述锚定框架(10)连接;所述驱动框架(70)的长边一侧通过所述驱动传递梁(100)连接所述XY轴检测质量组(20)所在的旋转框架(60); XY轴检测质量组(20)用于被驱动后绕结构中心在X方向和Y方向组成的平面内旋转;Z轴检测质量组(30)用于在驱动装置驱动后沿Y方向移动; 所述XY轴检测质量组(20)由XY轴检测质量块(21)构成,所述第一检测装置组(40)包括X轴检测极板(41)和Y轴检测极板(42); 所述X轴检测极板(41)在Y方向对称设置于所述XY轴检测质量块(21)左右侧,所述Y轴检测极板(42)在X方向对称设置于所述XY轴检测质量块(21)上下侧;所述X轴检测极板(41)和所述Y轴检测极板(42)与所述XY轴检测质量块(21)位于不同平面,且中间存在微小间隙用于形成检测电容组; 所述XY轴检测质量块(21)通过连接梁(22)与所述旋转框架(60)连接,以所述连接梁(22)为轴心,所述XY轴检测质量块(21)进行X或Y平面内的旋转; 第一检测装置组(40)用于检测绕X方向和绕Y方向的角速度;第二检测装置组(50)用于检测绕Z方向的角速度; 旋转框架(60)用于框架内部置入所述XY轴检测质量组(20),所述驱动装置设置在所述旋转框架(60)外部; 所述驱动弹簧(80)用于带动所述驱动框架(70)向Y方向运动;所述驱动框架(70)用于驱动后通过所述旋转框架(60)带动所述XY轴检测质量组(20)运动; 其中,X方向垂直于Y方向,Z方向垂直于X方向及Y方向。
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