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上海微高精密机械工程有限公司周勇宇获国家专利权

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龙图腾网获悉上海微高精密机械工程有限公司申请的专利一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115593946B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211279034.X,技术领域涉及:B65G49/05;该发明授权一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置是由周勇宇;郭鹏;姜晨;焦培俊设计研发完成,并于2022-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置在说明书摘要公布了:一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置,包括连接底板、非对称式吸附装置以及吸附补偿装置,非对称式吸附装置相对设置在连接底板的上下两侧,吸附补偿装置相对设置在连接底板左右两侧的中间位置,非对称式吸附装置上设有第一吸附孔,吸附补偿装置上设有第二吸附孔,设于连接底板上下两侧的非对称式吸附装置上的第一吸附孔之间沿连接底板的中心线呈不对称分布,非对称式吸附装置内设置有与第一吸附孔连通的第一真空通道,吸附补偿装置设有与第二吸附孔连通的第二真空通道,本发明结构上改变掩模版传输过程中的吸附方式,掩模版在被吸附的过程中受力点不对称,减小了掩模版在传输过程中产生的变形,减少了掩模版的损伤,提高传输精度。

本发明授权一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置在权利要求书中公布了:1.一种掩模版传输的非对称吸附及吸附补偿装置,其特征在于,包括连接底板、非对称式吸附装置以及吸附补偿装置,所述非对称式吸附装置相对设置在连接底板的上下两侧,所述吸附补偿装置相对设置在连接底板左右两侧的中间位置,非对称式吸附装置上设有第一吸附孔,吸附补偿装置上设有第二吸附孔,设于连接底板上下两侧的非对称式吸附装置上的第一吸附孔之间沿连接底板的中心线呈不对称分布; 非对称式吸附装置包括四个非对称式吸附装置,所述四个非对称式吸附装置以两两相对的方式设置在连接底板的上下两侧,吸附补偿装置包括两个吸附补偿装置,所述两个吸附补偿装置以相对的方式设置在连接底板左右两侧的中间位置,且两个吸附补偿装置上的第二吸附孔沿连接底板的中心线对称设置; 四个非对称式吸附装置中位于连接底板上侧的两个非对称式吸附装置上的第一吸附孔分别设置在两个非对称式吸附装置的最左侧和最右侧,四个非对称式吸附装置中位于连接底板下侧的两个非对称式吸附装置上的第一吸附孔分别设置在两个非对称式吸附装置的中间位置和最右侧; 非对称式吸附装置内设置有与第一吸附孔连通的第一真空通道,吸附补偿装置设有与第二吸附孔连通的第二真空通道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海微高精密机械工程有限公司,其通讯地址为:200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1525号3幢G104室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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