科磊股份有限公司J·劳贝尔获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利激光退火图案抑制获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117581093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280043769.4,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权激光退火图案抑制是由J·劳贝尔;J·柯克伍德设计研发完成,并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火图案抑制在说明书摘要公布了:确定经激光退火半导体晶片的图像中的网格线的位置。由所述网格线覆盖的区域可使用新灰度值来填充。所述新灰度值能够基于所述区域周围的邻域的第二灰度值。所述邻域位于由所述网格线覆盖的所述区域外部。
本发明授权激光退火图案抑制在权利要求书中公布了:1.一种检测系统,其包括: 光源,其产生光; 载物台,其经配置以将经激光退火半导体晶片保持在所述光的路径中; 检测器,其经配置以接收从所述经激光退火半导体晶片反射的所述光;及 处理器,其与所述检测器电子通信,其中所述处理器经配置以: 使用来自所述检测器的数据来产生所述经激光退火半导体晶片的图像; 确定所述图像中网格线的位置;且 使用基于区域周围邻域的第二灰度值的新灰度值来填充由所述网格线覆盖的所述区域,其中所述邻域位于由所述网格线覆盖的所述区域外部。
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