株式会社日立高新技术佐野裕子获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利缺陷检查系统以及缺陷检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115808434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211080646.6，技术领域涉及：G01N23/2251；该发明授权缺陷检查系统以及缺陷检查方法是由佐野裕子;石川昌义;新藤博之设计研发完成，并于2022-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检查系统以及缺陷检查方法在说明书摘要公布了：本发明提供缺陷检查系统、缺陷检查方法，能吸收拍摄条件不同所引起的检查图像的差，或具有各检查工序中能共同使用的过滤模型，能进行高效率的检查。缺陷检查系统100具有：缺陷检测部104，比较检查图像4和不具有缺陷的图像即参照图像来检测检查图像内缺陷位置；过滤模型，将检测的缺陷位置分类为虚报或指定的缺陷种类；过滤条件保持部106，保持过滤条件；缺陷区域提取部，在每个预定的距离内将缺陷检测部104检测的缺陷位置汇总；缺陷过滤部105，按每个缺陷区域判定是否符合过滤条件，仅提取符合的缺陷区域；标准化部101，基于检查时的加工工序和按每个加工工序或每个拍摄条件设定的标准化条件对检查图像4进行标准化。
本发明授权缺陷检查系统以及缺陷检查方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检查系统，其基于在通过1个以上的加工工序加工的试样中在1个以上的加工工序后拍摄到的试样的检查图像来检查有无缺陷，其特征在于， 所述缺陷检查系统具备： 缺陷检测部，其将所述检查图像和参照图像进行比较来检测检查图像内的缺陷位置，其中，所述参照图像是与所述检查图像在同一检查点且不具有缺陷的图像； 过滤模型，其将由所述缺陷检测部检测出的缺陷位置分类为虚报或指定的缺陷种类； 过滤条件保持部，其保持由指定的缺陷种类和或缺陷尺寸构成的过滤条件； 缺陷区域提取部，其在每个预定的距离内将由所述缺陷检测部检测出的缺陷位置汇总在一起； 缺陷过滤部，其针对由所述缺陷区域提取部提取出的每个缺陷区域，判定是否符合所述过滤条件，仅提取符合的缺陷区域；以及 标准化部，其基于检查时的所述加工工序和按照每个加工工序或每个拍摄条件设定的标准化条件，对所述检查图像进行标准化， 所述过滤模型通过使用由所述标准化部标准化后的检查图像来进行学习，从而得到所述过滤模型。
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